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尾氣(氫氣+氯矽烷)回收技術


為節約能(néng)源資源、發(fā)了跳展循環經(jīng)濟、保護環樹兒境提供技術解決方案和專用裝備,主要包括節能(都討néng)産業、資源循環利用産業和環保裝備産業多又,涉及節能(néng)環保技術與裝備關票、節能(néng)産品和服務等;涉及領域包括:節能光金(néng)技術和裝備、高效節能(作月néng)産品、節能(néng)服務技老産業、先進(jìn)環保技術和裝備、環保産品與一藍環保服務。為用戶提供高效節能(néng)、先進(j她自ìn)環保、資源循環利用關鍵技術裝備、産品和服務。藍空

主要通過(guò)低溫吸收,變溫及變壓吸器離附等工藝,將(jiāng)氫氣及氯矽烷從工藝廢氣中分離出來以達信老到(dào)循環利用的目的。

技術優勢:

u  氫氣回收率高,氫氣回收率≥80%

u  通過(guò)STC吸收原料氣中的氯矽烷,達到(dào)最大程度回收氯矽烷,月子原料重複利用;

u  通過(guò)幹燥吸附-再生-二次吸附,最大限度的回收氫氣,減少氫氣排放,同時(shí)提高小西氫氣的純度;

u  利用變壓吸附的廢氣對(duì)變溫吸附設備進錯務(jìn)行反吹,節約公用工程用氣;

u  采用全新的脫氧技術,節能(néng)環保;

采用變溫吸附和變壓吸附串聯操作店影,能(néng)夠快速有效地達到(dào)氫氣提純的妹聽目的;此方法廢氣處理量大。

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